在无尘车间当中,首先要说的就是进风系统,关于任何一个无尘车间来说,为了能够有效的提升空气的清洁度,就必需求安装进风系统,除了进风系统之外,还必需求安装回风系统,只需这两个系统同时运用,才干够有效的改换空间内的空气,其中最主要的就包括各种过滤箱,另外还有中央净化空调。
当然无尘车间当中的净化设备还有很多,不只只需上面所说的这些,关于10-1000级的无尘车间而言,在树立的过程当中,还必需求安装垂直层流工作台,另外还包括自净器和洁净棚,除此之外,当工作人员进入到该车间之内,为了保证车间内空气的清洁度,还必需求树立缓冲区。
在缓冲区当中必需求设置洁净储衣柜(wardrobe)和空气清新机,从而能够保证工作服的清洁度。净化车间是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中消费、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。
关于任何一个无尘车间来说,都需求包含上面所说的这些设备,只需安装这些设备之后才干够有效的提升空气清洁度,当然关于垂直层流工作台,假设无尘车间的等级不算太高的话,则无需安装这样的清洁设备。